1.擴散硅壓力變送器

　　20世紀90年代中期，美國Icsensors公司、Nova公司應用硅精蝕和硅晶片疊合兩項**科技生產了新型擴散硅壓力傳感器并開發出具有精度高, 重復性小, 抗腐蝕的擴散硅壓力變送器。濕度傳感器探頭, 不銹鋼電熱管, PT100傳感器, 流體電磁閥,鑄鋁加熱器,加熱圈1993年長沙礦山研究院開發了具有極高性價比的SBP800型擴散硅壓力變送器, 在首鋼、長嶺煉油廠等數十家大中型企業推廣使用。

　　過程壓力通過隔離膜片、密封硅油傳輸到擴散硅膜片上、同時參考端的壓力大氣壓作用于膜片的另一端。這樣膜片兩邊的壓差產生一個壓力場, 使膜片的一部分壓縮, 另一部分拉伸, 在壓縮區和拉伸區分別由兩個應變電阻片, 以感受壓力引起的阻值的變化, 從而將壓力信號轉換為電信號圖。此種SBP800型壓力變送器可以測量316鋼承載的任何液、氣態介質。

　　2.電容薄膜式壓力變送器

　　電容薄膜式**壓力變送器自80年代誕生至今有20年歷史, 由于它的精度高, 耐腐蝕, 耐污染, 穩定性好, 是國內外公認的檢測低真空壓力的理想儀表。美國M.K.S的公司是全球生產電容薄膜式壓力變送器的主要生產廠家, 至目前為止, 它的年銷售額已達上億美元, 涉及民用工業的各個領域, 并在航天工業、核工業等**工業中發揮著獨特的作用。

　　這種壓力變送器是利用彈性薄膜在壓差作用下產生壓變引起電容變換的原理制成, 它是由檢測部分和轉換電路組成檢測部分有真空腔及檢測腔兩個腔體。真空腔為全密封結構, 經質譜檢漏儀檢漏合格后, 通過長時間排氣, *后將排氣管密封形成的, 并備有消氣劑, 消除殘余氣體, 長期保持高真空。固定極板位于真空腔中, 由極板引出線至腔外。檢測膜片置于高真空的真空腔及連接低真空待測系統的檢測腔之間, 檢測膜片為可動極板, 其與固定極板形成一個平板電容器, 有一定的電容值。被測的低真空壓力通過檢測孔進入檢測腔, 檢測膜片產生撓曲, 改變了其與固定極板的距離, 電容值也隨之改變。不同的低真空壓力值決定不同的電容值。*后電容信號被輸送到電路轉換部分, 電路轉換部分將電容信號通過變換、整理、放大等環節,輸出一個標準電壓或電流信號。這個標準電信號是從電容信號而來, 它與真空壓力成正比。真空預冷試驗機采用CPCD100Z型電容薄膜式壓力送器作為真空室壓力的測量。通過微處理機把信號輸出在面板上。實驗證明, 該類型變送器響應快, 穩定可靠并可以連續使用, 充分滿足了試驗中壓力測量的要求。

　　3.陶瓷厚膜壓力變送器

　　陶瓷厚膜式壓力變送器是利用了陶瓷厚膜電阻的力敏效應。利用陶瓷厚膜壓力芯片作為彈性元件, 印刷和燒結在陶瓷膜片上的厚膜電阻為敏感電阻, 并經過精密的補償技術、調阻技術、信號處理技術的處理, 將壓力信號直接轉換成標準的電流信號, 并接人工業儀表或計算機控制系統, 實現生產過程的自動檢測和控制。

　　瓷厚膜壓力變送器主要是由陶瓷厚膜壓力傳感器和微處理器兩部分組成, 傳感器用來測量壓力變化。當壓力作用于傳感器時, 引起傳感器的電阻值變化, 傳感器芯片上的電橋電路檢測出并由A/D轉器轉換成數字信號送至微處理器。微處理器是信號處理的核心部件,具有線性運算、校正、故障診斷和通信功能。傳感器數據存儲器能夠存儲修正系數, 微處理器利用存儲器中的數據信息, 經計算處理, 產生一個高精度的特性優異的輸出。這種變送器在生產工藝過程中可將各種介質包括腐蝕性和非腐蝕性的氣體、液體直接引人到陶瓷膜片上, 無需進行復雜的隔離技術, 因此價格低廉。壓力變送器的彈性體為物化性能極為穩定的高鋁瓷兒制作, 長期工作無蠕變和塑性變形, 線性度、滯后性能明顯優于其他類型壓力變送器。

　　4.陶瓷電容壓力變送器

　　陶瓷電容壓力變送器采用無中介液的干式陶瓷電容傳感器, 從而獲得很高的技術性能。市場上以德國E+H公司和美國Kavlico公司產品為主。年代中期,哈爾濱工業大學利用美國Kavlico公司的陶瓷電容式傳感器生產出PTM120壓力變送器, 其性能穩定, 測試數據準確, 大量投人到石油、化工、電力、鋼鐵、輕工等行業的壓力測量及現場控制。

　　陶瓷電容壓力變送器的工作原理與其他電容式的變送器不同, 介質壓力直接作用于陶瓷膜片, 使測量膜片產生偏移。膜片位移產生的電容變化量與輸人壓力成一定的線性關系, 經電子部件檢測、放大并輸出。